Vysoko čistá medená naprašovacia podložka – štvorcová (4N-6N)
Vysoko čistý medený naprašovací terč – Vyhlásenie o procese a zabezpečení kvality
Naše štvorcové medené naprašovacie terče sú vyrobené podľa presných noriem požadovaných pre spoľahlivé nanášanie tenkých vrstiev v pokročilých procesoch nanášania povlakov.
Výroba prebieha podľa prísne kontrolovaného pracovného postupu založeného na vákuu, aby sa zachovala ultra vysoká čistota a konzistencia materiálu:
●Výber suroviny: Ako východiskový materiál sa používajú iba certifikované elektrolytické medené katódy (≥99,99 %).
●Vákuové tavenie: Indukčné tavenie vo vysokom vákuu alebo inertnej atmosfére minimalizuje zachytávanie kyslíka a prchavých nečistôt.
●Odlievanie a rafinácia: Riadené smerové tuhnutie vytvára ingoty s homogénnym zložením a minimálnou segregáciou.
●Tvorba za tepla: Kovaním alebo lisovaním za tepla sa dosahuje takmer teoretická hustota a zjemnená štruktúra zrna.
●Presné obrábanie: CNC frézovanie a brúsenie vytvára presné štvorcové rozmery s plochými, rovnobežnými povrchmi.
● Povrchová úprava: Viacstupňové leštenie zaisťuje zrkadlový lesk vhodný pre použitie v čistých priestoroch.
● Voliteľné lepenie: K dispozícii je lepenie india alebo elastoméru na molybdénové/medené podkladové dosky pre tepelnú reguláciu.
●Záverečné čistenie a balenie: Ultrazvukové čistenie v ultračistej vode, po ktorom nasleduje vákuové balenie do dvojvrstvových čistých vreciek.
Systém kontroly kvality
● Úplná sledovateľnosť od šarže surovej katódy až po hotový terč
● Materiálové certifikáty a skúšobné protokoly sú dodávané s každou zásielkou
● Uchovávanie archívnych vzoriek ≥3 roky na overenie treťou stranou (SGS, BV atď.)
● 100 % kontrola kritických parametrov:
• Čistota a nečistoty (analýza GDMS/ICP-MS; typický obsah kyslíka <10 ppm)
• Meranie hustoty (Archimedova metóda; ≥99,5 %)
• Veľkosť zŕn a mikroštruktúra (metalografické vyšetrenie)
• Rozmerová presnosť (SMS; rovinnosť ≤0,05 mm typicky)
• Drsnosť a defekty povrchu (profilometer + vizuálna kontrola)
● Vnútorné špecifikácie prevyšujú požiadavky normy ASTM F68. Typické vlastnosti: Tepelná vodivosť >390 W/m·K, Elektrický odpor <1,7 μΩ·cm, Konzistentná rýchlosť naprašovania a kvalita filmu.
● Procesy kompatibilné s čistými priestormi a zariadenie s certifikátom ISO 9001:2015 zabezpečujú, že každý cieľ spĺňa náročné požiadavky moderných PVD aplikácií.










